Technologies pour composants inorganiques
Cette plate-forme regroupe un ensemble d’équipements destinés à des études allant de la physique fondamentale jusqu’à l’élaboration de petits dispositifs ou démonstrateurs dans le domaine des micro- et nanotechnologies et du photovoltaïque. L’un de ses axes fort réside dans la spécificité des techniques qui ont été développées pour les procédés du photovoltaïque.
Cette plate-forme se décline en deux composantes.
Plateau faisceaux d’ions
Le plateau faisceaux d’ions comprend :
- un implanteur EATON 200 kV pour la modification des matériaux
- un accélérateur Van de Graaff 4 MV pour la modification et l’analyse des matériaux
- des équipements d’analyses par faisceaux d’ions
- des logiciels de simulation de l’analyse par faisceaux d’ions
Plateau salle blanche et équipements périphériques
La mise au point de matériaux et dispositifs électroniques performants nécessite des procédés d’élaboration et de traitement sophistiqués. Certaines étapes recquièrent une atmosphère contrôlée, tandis que pour d’autres les conditions de mise en œuvre sont moins sévères. Vous trouverez ci-dessous des informations plus détaillées concernant :